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还原炉1
还原炉3
还原炉2

还原炉

       还原炉是改良西门子法生产多晶硅工艺中的关键设备之一,豪迈自2020年开始对还原工艺及还原炉设计、制造展开研究。
       根据还原炉底盘上电极、喷嘴、尾气口等的设置,模拟分析还原炉各个腔室内的温度场和流动场,持续优化影响多晶硅生长及能耗的关键参数。